半導(dao)體指(zhi)的(de)是在常溫下導(dao)電(dian)性能介于導(dao)體與絕緣體之間的(de)一種(zhong)材(cai)料(liao)，主要應用于集成電(dian)路、消費(fei)電(dian)子、通信系(xi)統、光伏發電(dian)、照明、大(da)功率(lv)電(dian)源轉(zhuan)換等領域，在半導(dao)體工業加工的(de)過程(cheng)中將會有(you)部分的(de)氣體排出，那(nei)半導(dao)體工業的(de)廢氣有(you)毒嗎，怎(zen)么處理好(hao)?

半(ban)導(dao)體(ti)工業(ye)在加工的過程中會使(shi)用到光刻(ke)膠、蝕刻(ke)液、清洗劑(ji)、顯影劑(ji)等(deng)溶(rong)劑(ji)，而(er)(er)這些溶(rong)劑(ji)是(shi)含(han)有大量的有機物(wu)成(cheng)分，排放出來的廢氣含(han)有HCl、氨、HF等(deng)危險污染(ran)物(wu)，而(er)(er)主要處理的是(shi)具有揮發(fa)性的VOCs。VOCs污染(ran)物(wu)為有機化(hua)合物(wu)，在濃度(du)較高且有火花或靜電情況下，極易發(fa)生(sheng)閃(shan)爆(bao)現象。半(ban)導(dao)體(ti)在制造過程中一般的污染(ran)源包括顆(ke)粒污染(ran)物(wu)、金(jin)屬(shu)離子和(he)化(hua)學物(wu)質等(deng)，而(er)(er)這些都是(shi)屬(shu)于有害的污染(ran)物(wu)。

半(ban)導體(ti)廢氣處理方法根據工業廢氣成(cheng)分進行廢氣處理設(she)備的(de)選擇：

噴淋塔：

噴(pen)淋塔可分為(wei)酸液噴(pen)淋塔、堿液噴(pen)淋塔、循(xun)環水噴(pen)淋塔，因在進行(xing)廢氣(qi)處理的過程中(zhong)會(hui)涉及到(dao)酸堿等(deng)不(bu)同的污染物質，設(she)備(bei)(bei)會(hui)根據廢氣(qi)的性質、采(cai)用的處理工藝(yi)將設(she)備(bei)(bei)的材料劃分為(wei)玻璃(li)鋼噴(pen)淋塔、pp噴(pen)淋塔、不(bu)銹鋼噴(pen)淋塔。

噴(pen)淋(lin)塔(ta)對各(ge)種(zhong)腐蝕(shi)性氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)凈(jing)化(hua)處理效果(guo)明顯，能有效去除(chu)氯(lv)化(hua)氫氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(HCl)、氟化(hua)氫氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(HF)、氨氣(qi)(qi)(qi)(NH3)、硫酸霧(H2SO4)、鉻酸霧(CrO3)、氰氫酸氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(HCN)、堿蒸氣(qi)(qi)(qi)(NaOH)、福爾(er)馬林(HCHO)等水溶(rong)性氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)。噴(pen)淋(lin)塔(ta)廢(fei)氣(qi)(qi)(qi)凈(jing)化(hua)效率高、操作管(guan)理簡單、使用壽命長，凈(jing)化(hua)處理后的酸堿廢(fei)氣(qi)(qi)(qi)排(pai)放(fang)達(da)到國家排(pai)放(fang)標準。

催化燃(ran)燒裝置：

RCO催化(hua)燃(ran)燒(shao)(shao)設備(bei)的運作原理是將有機(ji)廢氣通過(guo)(guo)過(guo)(guo)濾器過(guo)(guo)濾后(hou)，進(jin)入設備(bei)的活性炭吸附(fu)模(mo)塊，對(dui)廢氣進(jin)行(xing)吸附(fu)、濃縮，再借助催化(hua)劑燃(ran)燒(shao)(shao)的方式對(dui)吸附(fu)、濃縮后(hou)的廢氣進(jin)行(xing)凈化(hua)處理，燃(ran)燒(shao)(shao)的過(guo)(guo)程為無焰燃(ran)燒(shao)(shao)，燃(ran)燒(shao)(shao)后(hou)的廢氣會轉化(hua)為二氧化(hua)碳和水。

在催化(hua)(hua)氧(yang)化(hua)(hua)爐內被加熱(re)到250～300℃的(de)(de)(de)(de)(de)有機廢(fei)氣(qi)(qi)在貴金(jin)屬催化(hua)(hua)劑的(de)(de)(de)(de)(de)作用下發生無焰燃燒，有機廢(fei)氣(qi)(qi)被氧(yang)化(hua)(hua)分解成(cheng)二氧(yang)化(hua)(hua)碳和(he)水，達(da)到廢(fei)氣(qi)(qi)處理的(de)(de)(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)(de)(de)，廢(fei)氣(qi)(qi)處理后的(de)(de)(de)(de)(de)潔凈氣(qi)(qi)體經煙(yan)囪(cong)達(da)標排(pai)放(fang)。燃燒后的(de)(de)(de)(de)(de)熱(re)空(kong)氣(qi)(qi)通過換(huan)熱(re)器進行(xing)降(jiang)溫，降(jiang)溫后的(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)體部分排(pai)放(fang)，部分用于(yu)活性炭(tan)脫附再(zai)生以達(da)到廢(fei)熱(re)利用和(he)節能的(de)(de)(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)(de)(de)。

半(ban)導體工業(ye)廢氣是具(ju)有毒(du)性的(de)，不(bu)(bu)同的(de)工業(ye)采(cai)用的(de)工藝(yi)原(yuan)材料不(bu)(bu)同，因此采(cai)用的(de)廢氣處理設備以及工藝(yi)都是不(bu)(bu)一(yi)樣的(de)，具(ju)體的(de)處理方(fang)案可咨詢我(wo)們(men)。