半導體酸性廢(fei)氣來源：

半(ban)導體產(chan)業中(zhong)的酸(suan)性廢氣主要(yao)來源(yuan)于清(qing)洗工序(xu)，其中(zhong)使用的清(qing)洗劑溶劑中(zhong)含有大(da)量酸(suan)性廢氣，主要(yao)成(cheng)分(fen)為硝(xiao)酸(suan)，硫(liu)酸(suan)，氫氟(fu)酸(suan)等，在工藝過程中(zhong)，這(zhe)些大(da)部分(fen)通(tong)過揮(hui)發成(cheng)為廢氣排放(fang)。

半導體酸(suan)性廢氣處理方(fang)法：

堿液體二級(ji)噴淋(lin)法，又稱化學洗(xi)滌法。

因(yin)液體(ti)(ti)自身具(ju)有(you)的溶解特性(xing)，可以更好地(di)利用(yong)酸(suan)堿中和(he)去除污染(ran)物，而達到大氣(qi)排放標準，故噴淋(lin)法是半導體(ti)(ti)行業(ye)酸(suan)堿廢氣(qi)治理普(pu)遍采(cai)用(yong)的主要處理方法。

半導體酸性廢氣(qi)處理(li)工(gong)作(zuo)原理(li)：

通過(guo)(guo)(guo)設備(bei)直(zhi)接(jie)連接(jie)將廢(fei)氣(qi)(qi)收(shou)集起來，在(zai)風(feng)機的(de)(de)作用下將廢(fei)氣(qi)(qi)源源不斷向凈化(hua)設備(bei)輸(shu)送(song)，再經過(guo)(guo)(guo)通風(feng)管道的(de)(de)輸(shu)送(song)作用，使廢(fei)氣(qi)(qi)輸(shu)送(song)到系統的(de)(de)噴(pen)淋塔內(nei)，氣(qi)(qi)體在(zai)噴(pen)淋塔塔內(nei)經過(guo)(guo)(guo)堿性(xing)洗液的(de)(de)噴(pen)淋洗滌過(guo)(guo)(guo)程，廢(fei)氣(qi)(qi)中(zhong)所含有的(de)(de)容易(yi)產(chan)生酸(suan)霧的(de)(de)氣(qi)(qi)體成份(fen)充分與堿性(xing)水霧接(jie)觸(chu)混合并(bing)且發生中(zhong)和(he)反應(ying)，并(bing)且形成較好的(de)(de)氣(qi)(qi)液兩相交(jiao)和(he)。經過(guo)(guo)(guo)噴(pen)淋后的(de)(de)水霧再在(zai)洗滌塔內(nei)的(de)(de)填(tian)料層內(nei)形成一個多孔接(jie)觸(chu)面較大的(de)(de)處理層，從而(er)進一步對酸(suan)霧進行治(zhi)理。

半導體酸性廢氣處理設備優點：

⑴半導體酸(suan)性廢氣處理設備工藝簡單，造價低(di)，運(yun)行費(fei)用(yong)少，安(an)裝方便，耐(nai)腐蝕；

⑵性能穩定(ding)，除塵(chen)效率高，脫硫效果好；

⑶重量輕，便(bian)于安裝、運輸及維修(xiu)管理；

⑷特(te)別(bie)適應水溶性含塵氣體；