芯(xin)片廠(chang)廢(fei)氣來源：

芯(xin)片廠在(zai)生(sheng)產(chan)工(gong)藝中(zhong)使(shi)用(yong)各種(zhong)酸(suan)液清洗、刻蝕芯(xin)片等(deng)過程中(zhong)產(chan)生(sheng)氟化氫氣體（HF）、鹽(yan)酸(suan)（HCI)、硫酸(suan)霧(wu)（H2SO4)等(deng)酸(suan)性氣體。

芯(xin)片廠廢氣處理工藝：

生產車間酸(suan)洗池(chi)酸(suan)霧廢氣(qi)經風(feng)罩收(shou)集，經管道再進入酸(suan)性(xing)廢氣(qi)凈(jing)(jing)化(hua)(hua)設(she)備，酸(suan)霧凈(jing)(jing)化(hua)(hua)塔(ta)體放(fang)置二層填(tian)(tian)料(liao)層并配置二級水浴裝置，并在(zai)循環水池(chi)內(nei)加氫氧化(hua)(hua)鈉（簡稱堿），以中和(he)廢氣(qi)中的(de)(de)酸(suan)霧，酸(suan)霧處(chu)理(li)塔(ta)的(de)(de)上(shang)(shang)端噴頭噴出吸(xi)收(shou)液(ye)(ye)均勻(yun)分布在(zai)填(tian)(tian)料(liao)上(shang)(shang)，廢氣(qi)與吸(xi)收(shou)液(ye)(ye)在(zai)填(tian)(tian)料(liao)表面(mian)上(shang)(shang)充分接觸(chu)，由于填(tian)(tian)料(liao)的(de)(de)機(ji)械(xie)強度大、耐腐蝕、空隙率(lv)高、表面(mian)大的(de)(de)特點，廢氣(qi)與吸(xi)收(shou)液(ye)(ye)在(zai)填(tian)(tian)料(liao)表面(mian)有較多的(de)(de)接觸(chu)面(mian)積和(he)反應時(shi)間。凈(jing)(jing)化(hua)(hua)后的(de)(de)氣(qi)體會飽含(han)水份經過塔(ta)頂的(de)(de)除霧裝置去除水份后直接排(pai)放(fang)大氣(qi)中。