集成電路制造行(xing)業(ye)廢氣來源:

集成電(dian)路(lu)制造行(xing)業廢氣主要來源是(shi)集成電(dian)路(lu)制程(cheng)工藝中(zhong)(zhong)使用的(de)各種化學(xue)物質。集成電(dian)路(lu)制造過(guo)(guo)程(cheng)中(zhong)(zhong)需要使用大(da)量的(de)有(you)機溶(rong)(rong)劑，如清洗劑、光刻膠、剝離液、稀釋(shi)液等，這些有(you)機溶(rong)(rong)劑在揮發過(guo)(guo)程(cheng)中(zhong)(zhong)就(jiu)會產生有(you)機廢氣。

集成(cheng)電路制(zhi)造行業廢氣處(chu)理設備選擇:

對于廢氣處理(li)，我(wo)(wo)司已(yi)有二十余(yu)年的廢氣處理(li)經驗，所以(yi)我(wo)(wo)司推薦使用”沸石轉輪+RTO蓄(xu)熱式焚(fen)燒爐”進行(xing)處理(li)。

集成電路制造(zao)行業廢(fei)氣處理流程:

先用(yong)沸(fei)石轉輪對VOCs進(jin)行(xing)吸附濃縮之后，再用(yong)直(zhi)接燃(ran)燒(shao)(shao)法爐燃(ran)燒(shao)(shao)銷毀(hui)，廢(fei)(fei)氣(qi)(qi)凈(jing)化(hua)率達到96%以上(shang)。直(zhi)接燃(ran)燒(shao)(shao)也稱為直(zhi)接火焰燃(ran)燒(shao)(shao)，它是把廢(fei)(fei)氣(qi)(qi)中可燃(ran)的(de)(de)有(you)害(hai)組(zu)分當做燃(ran)料直(zhi)接燒(shao)(shao)掉，因此這種(zhong)廢(fei)(fei)氣(qi)(qi)處理(li)方法適用(yong)于集成電路行(xing)業有(you)機廢(fei)(fei)氣(qi)(qi)凈(jing)化(hua)可燃(ran)有(you)害(hai)組(zu)分濃度(du)較高(gao)的(de)(de)廢(fei)(fei)氣(qi)(qi)，或者(zhe)是用(yong)于凈(jing)化(hua)有(you)害(hai)組(zu)分燃(ran)燒(shao)(shao)時(shi)熱值較高(gao)的(de)(de)廢(fei)(fei)氣(qi)(qi)。

集(ji)成(cheng)電路制造(zao)行業廢(fei)氣處理設備的優勢:

1、高效處理效果：沸石(shi)轉輪吸附技術可以將廢氣(qi)中的(de)(de)有(you)機物(wu)質等污染物(wu)降低至(zhi)極低的(de)(de)水平，而RTO催化燃燒技術則(ze)能(neng)將吸附后的(de)(de)污染物(wu)通過高溫(wen)氧化分解為CO2和水，使(shi)其從原來的(de)(de)有(you)害(hai)氣(qi)體變成無(wu)害(hai)氣(qi)體。結合起來，該技術具備高效處理廢氣(qi)的(de)(de)能(neng)力(li)，對廢氣(qi)中的(de)(de)有(you)害(hai)物(wu)質可做到快速(su)徹底處理。

2、安全性高：沸(fei)石(shi)轉輪+RTO焚燒爐處理廢氣時，沸(fei)石(shi)轉輪的(de)吸附和脫附過(guo)程都(dou)在較低(di)的(de)溫度下進行，而RTO焚燒爐的(de)操作溫度也(ye)相(xiang)對較低(di)，因(yin)此(ci)整個處理過(guo)程安全性較高。

3、適(shi)用范圍廣：沸石轉輪+RTO焚燒爐處理技術不僅適(shi)用于集成電路制造行業(ye)的(de)有機廢(fei)氣處理，還可(ke)用于其他(ta)制造業(ye)、化工行業(ye)等產生的(de)有機廢(fei)氣處理。

4、環(huan)保節(jie)能：該處理技(ji)術可回收(shou)有機廢氣(qi)中(zhong)的能量，降(jiang)低能源消耗(hao)，同時減少(shao)對環(huan)境的影響(xiang)。